Pelapis Optik Penyejatan Pemendapan Berbantu Rasuk Ion
Penerangan
Ini adalah peralatan canggih untuk penyediaan peranti optoelektronik berketepatan ultra tinggi. Memfokuskan pada salutan optik berkualiti tinggi, ia mempunyai nilai serakan yang sangat rendah dan ketumpatan kecacatan. Sesuai untuk pengeluaran salutan berketepatan tinggi dalam aplikasi yang menuntut seperti laser, komunikasi optik, aeroangkasa, bioperubatan, optik automotif, penderia MEMS dan semikonduktor kuali.
Permohonan
Kaca biru & kaca putih IR- CUT, kaca biru & kaca putih AR, kanta resin AR, prisma sudut tepat periskop, dsb.
ciri-ciri
- Mesin standard pengeluaran besar-besaran
- Pemantauan dalam talian masa nyata
- Kawalan optik autonomi sepenuhnya
- Reka bentuk proses terbuka
- Sumber ion RISE RF: arus pancaran ion adalah tepat dan boleh dikawal, dengan masa kerja berterusan yang panjang, sesuai untuk pelbagai gas kerja, dan bebas pencemaran pada lapisan filem.
- Sumber plasma yang unik: pemacu frekuensi radio, operasi tanpa penggunaan, menyediakan ion oksigen tulen, memastikan penunjuk spektrum yang sangat baik dalam jalur tertentu.
- Kawalan cahaya: Ketepatan pembentukan filem terkawal cahaya: 0.1-0.3%, dengan struktur unik dan reka bentuk laluan optik yang cekap, pengumpulan masa nyata data spektrum berkelajuan ultra tinggi dan secara bebas membangunkan algoritma teras terkawal cahaya pintar.
- Sistem kawalan yang inovatif: Seni bina sistem modular terbuka, sistem kawalan pintar berdasarkan ARM, pengalaman interaksi manusia-mesin yang mesra, menyokong IoT dan seni bina pengkomputeran awan.
Parameter teknikal
|
Model |
OPIE1550 |
|
|
Bilik vakum |
SUS304, φ1550mmx1600mm(H) |
|
|
Sistem vakum |
4 pam molekul +1 set pam mekanikal/ unit pam akar |
|
|
Rak bahan kerja |
bahan kerja diameter cakera 1460mm, kelajuan putaran 0-30 rpm |
|
|
Sumber wap |
2 Set senjata elektronik (dwi senjata, dwi pengimbasan, dwi filamen, 270-darjah sudut sisihan rasuk, kuasa 10KW) |
|
|
Sistem pemendapan |
Sumber ion frekuensi radio RISE + sumber plasma khas (pilihan) |
|
|
Sistem kawalan |
Sistem kawalan pintar pemendapan vakum |
|
|
Sistem pemantauan |
Sistem pemantauan ketebalan filem kristal |
dikonfigurasikan mengikut keperluan khusus, konfigurasi standard |
|
Sistem pemantauan masa nyata filem nipis optik |
sistem kawalan optik yang dibangunkan sendiri (spektrum luas, panjang gelombang tunggal) pilihan |
|
|
Sistem penyejukan dalam |
kuasa pemampat 10KW, suhu penyejukan gegelung<-130°C |
|
Cool tags: penyalut optik penyejatan pemendapan dibantu rasuk ion, pengilang pelapis optik penyejatan pemendapan ion dibantu oleh pancaran ion China, kilang
